科学研究

高分辨冷场发射扫描电镜

厂家：Hitachi

型号：Regulus 8100

主要参数

二次电子分辨率≥0.7 nm（15 kV）/0.8 nm（1 kV）；总加速电压：0.1~30 kV，其中加速电压为0.5~30 kV，着陆电压为0.1~2 kV；127 mm×95 mm视野的画面倍率为20~1000000倍。

应用

高分辨冷场发射扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，其搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪，在低电压下不喷镀无损观测样品。